産業用ガス(特殊ガス)

広範囲にわたる最先端ビジネスをサポート

半導体材料ガス・高純度ガス及び混合ガスなどの特殊ガスは、時代の最先端分野で活躍しています。

半導体材料ガス	最近は超高集積化が進み、半導体などの製造に使用される品質は、ますます高度化が要求されています。用途 CVDプロセス用（モノシラン、ホスフィン、ジシラン他）エッチング用（三フッ化窒素、三フッ化塩素他） LCD用（ヨウ化水素他）等
高純度ガス	工業ガスを厳重な品質管理のもとに精製し、特殊内面処理を行った容器に充填して、信頼性の高い高品質な製品をお届けします。用途高純度酸素窒素アルゴン水素ヘリウム二酸化炭素他
混合ガス	管球用、鉄鉱石還元用、放射線測定用、助燃用、レーザー用等の広い範囲にわたって利用されており、その種類も各種高純度ガスの組合せから成り立っています。
標準ガス	石油化学、鉄鋼関係のプロセスコントロール用、自動車排ガスを始めとする環境関連測定用に各種分析計が用いられています。これらの計器の信頼性は、高純度の標準ガスによるキャリブレーションチェックやスパンチェックにより高まります。
レアガス	ネオン、クリプトン、キセノン用途管球用 PDP発光用レーザー発振用他